[发明专利]基板切割系统、基板制造装置及基板切割方法有效
申请号: | 200480027646.3 | 申请日: | 2004-09-24 |
公开(公告)号: | CN1856392A | 公开(公告)日: | 2006-11-01 |
发明(设计)人: | 西尾仁孝;冈岛康智;大岛幸雄;大成弘行;吉本和宏 | 申请(专利权)人: | 三星钻石工业株式会社 |
主分类号: | B28D5/00 | 分类号: | B28D5/00;C03B33/033 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人: | 王艳江;杨生平 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 切割 系统 制造 装置 方法 | ||
【说明书】:
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