[发明专利]具有微粒子俘获用的孔状旋转过滤板的成膜装置和方法无效
| 申请号： | 200480029284.1 | 申请日： | 2004-08-11 |
| 公开（公告）号： | CN1863936A | 公开（公告）日： | 2006-11-15 |
| 发明（设计）人： | 吉武刚 | 申请（专利权）人： | 独立行政法人科学技术振兴机构 |
| 主分类号： | C23C14/28 | 分类号： | C23C14/28;H01L21/203 |
| 代理公司： | 北京三幸商标专利事务所 | 代理人： | 刘激扬 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 具有 微粒子 俘获 旋转 过滤 装置 方法 | ||
【权利要求书】：
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