[发明专利]低活化能含硅抗蚀剂体系有效
| 申请号： | 200480031181.9 | 申请日： | 2004-10-22 |
| 公开（公告）号： | CN1871550A | 公开（公告）日： | 2006-11-29 |
| 发明（设计）人： | 黄武松;R·D·艾伦;M·安耶洛普洛斯;R·W·孔;R·苏里亚库马兰 | 申请（专利权）人： | 国际商业机器公司 |
| 主分类号： | G03C1/76 | 分类号： | G03C1/76 |
| 代理公司： | 北京市中咨律师事务所 | 代理人： | 林柏楠;刘金辉 |
| 地址： | 美国*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 活化能 含硅抗蚀剂 体系 | ||
【权利要求书】：
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