[发明专利]化学放大正型光敏热固性树脂组合物、形成固化制品的方法及制备功能器件的方法有效
| 申请号： | 200480031619.3 | 申请日： | 2004-11-18 |
| 公开（公告）号： | CN1875322A | 公开（公告）日： | 2006-12-06 |
| 发明（设计）人： | 高桥亨;胜又直也;前田浩辉 | 申请（专利权）人： | 东京应化工业株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/004 | 分类号： | G03F7/004;G03F7/039 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 陈长会 |
| 地址： | 日本神*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 化学 放大 光敏 热固性 树脂 组合 形成 固化 制品 方法 制备 功能 器件 | ||
【权利要求书】：
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