[发明专利]角度检测装置以及使用其的扫描型执行器无效
申请号: | 200480031717.7 | 申请日: | 2004-09-22 |
公开(公告)号: | CN1875246A | 公开(公告)日: | 2006-12-06 |
发明(设计)人: | 重松良平 | 申请(专利权)人: | 日本发条株式会社 |
主分类号: | G01B21/22 | 分类号: | G01B21/22;G01D5/245;G01S7/48;G02B26/10 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人: | 刘建 |
地址: | 日本国*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 角度 检测 装置 以及 使用 扫描 执行 | ||
【权利要求书】:
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