[发明专利]在聚焦离子束显微镜中进行快速样品制备的方法和装置无效
申请号: | 200480033062.7 | 申请日: | 2004-11-03 |
公开(公告)号: | CN1879188A | 公开(公告)日: | 2006-12-13 |
发明(设计)人: | 托马斯·穆尔 | 申请(专利权)人: | 全域探测器公司 |
主分类号: | H01J37/20 | 分类号: | H01J37/20 |
代理公司: | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人: | 王永建 |
地址: | 美国得*** | 国省代码: | 美国;US |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 聚焦 离子束 显微镜 进行 快速 样品 制备 方法 装置 | ||
【说明书】:
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