[发明专利]抗蚀剂层积体的形成方法无效
| 申请号： | 200480034295.9 | 申请日： | 2004-11-15 |
| 公开（公告）号： | CN1882882A | 公开（公告）日： | 2006-12-20 |
| 发明（设计）人： | 荒木孝之;高明天;佐藤数行;大桥美保子;岸川洋介 | 申请（专利权）人： | 大金工业株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/11 | 分类号： | G03F7/11;C08F216/12;C09D133/14 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 | 代理人： | 丁香兰 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 抗蚀剂 层积 形成 方法 | ||
【说明书】：
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