[发明专利]藉利用硅化物生长掺杂物雪耙效应于装置中形成陡接面有效
| 申请号： | 200480035297.X | 申请日： | 2004-10-26 |
| 公开（公告）号： | CN1886838A | 公开（公告）日： | 2006-12-27 |
| 发明（设计）人： | W·P·马斯扎拉 | 申请（专利权）人： | 先进微装置公司 |
| 主分类号： | H01L29/78 | 分类号： | H01L29/78;H01L29/417;H01L21/336 |
| 代理公司： | 北京纪凯知识产权代理有限公司 | 代理人： | 戈泊;程伟 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 利用 硅化物 生长 掺杂 物雪耙 效应 装置 形成 陡接面 | ||
【权利要求书】：
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