[发明专利]大面积光刻的装置和方法有效
| 申请号： | 200480036055.2 | 申请日： | 2004-11-03 |
| 公开（公告）号： | CN1890604A | 公开（公告）日： | 2007-01-03 |
| 发明（设计）人： | 巴巴克·海德瑞;马奇·贝克 | 申请（专利权）人： | 奥博杜卡特股份公司 |
| 主分类号： | G03F7/00 | 分类号： | G03F7/00;G03F7/20 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 王永刚 |
| 地址： | 瑞典*** | 国省代码： | 瑞典;SE |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 大面积 光刻 装置 方法 | ||
【说明书】：
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