[发明专利]用于高质量同质外延的连位氮化镓衬底有效
| 申请号： | 200480037136.4 | 申请日： | 2004-11-12 |
| 公开（公告）号： | CN1894093A | 公开（公告）日： | 2007-01-10 |
| 发明（设计）人： | 罗伯特·P·沃多;徐学平;杰弗里·S·弗林;乔治·R·布兰德斯 | 申请（专利权）人： | 克利公司 |
| 主分类号： | B32B9/00 | 分类号： | B32B9/00;C30B29/38;C30B29/40;H01L21/46 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 黄启行;穆德骏 |
| 地址： | 美国北卡*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 用于 质量 同质 外延 氮化 衬底 | ||
【说明书】：
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