[发明专利]光敏组合物去除剂有效

专利信息
申请号: 200480037241.8 申请日: 2004-12-14
公开(公告)号: CN1894629A 公开(公告)日: 2007-01-10
发明(设计)人: 金田昌人;三河泰广;清水孝二 申请(专利权)人: 昭和电工株式会社
主分类号: G03F7/16 分类号: G03F7/16;G03F7/00;C11D7/24;G03F7/32
代理公司: 北京市中咨律师事务所 代理人: 林柏楠;刘金辉
地址: 日本*** 国省代码: 日本;JP
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摘要:
搜索关键词: 光敏 组合 去除
【说明书】:
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