[发明专利]用于图形化不同宽度的线的复合光学光刻方法无效
| 申请号： | 200480038478.8 | 申请日： | 2004-10-18 |
| 公开（公告）号： | CN1898609A | 公开（公告）日： | 2007-01-17 |
| 发明（设计）人： | 亚恩·博罗多夫斯基 | 申请（专利权）人： | 英特尔公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京嘉和天工知识产权代理事务所 | 代理人： | 严慎 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 用于 图形 不同 宽度 复合 光学 光刻 方法 | ||
【说明书】：
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