[发明专利]自动化的材料处置系统

权利要求书

1.一种半导体工件处理系统，包括：

至少一个用于处理半导体工件的处理工具；

用于保存至少一个半导体工件、从而将其来回地传输到所述处理工具中的容器；

连接在所述处理工具上的第一传输分段，其用于将所述容器来回地传输到所述处理工具中；和

连接在所述第一传输分段上的第二传输分段，其用于将所述容器来回地传输到所述处理工具中；

其中，所述第一传输分段是基于运载工具的分段，其具有能够保持所述容器并沿着所述第一传输分段的第一轨道而移动的运载工具，所述第二传输分段不是基于运载工具的分段，并且具有第二轨道，所述第二轨道的至少一个支撑元件适于与所述容器对接，以便可移动地支撑来自所述第二轨道的容器，并允许所述容器相对于所述第一轨道移动，其中，所述第二传输分段具有连接在所述第二轨道上的电动机，其用于使所述第二轨道上的容器与所述第一轨道上的运载工具对准。

2.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，所述电动机连接在所述第二轨道上，用于沿所述第二轨道来驱动所述容器，所述电动机至少一部分安装在所述容器上。

3.根据权利要求2所述的系统，其特征在于，所述容器具有整体式的框架组件，所述电动机的至少一部分与所述容器的框架组件形成一体。

4.根据权利要求2所述的系统，其特征在于，所述电动机的至少一部分模制在所述框架组件的一部分中。

5.根据权利要求2所述的系统，其特征在于，所述电动机的至少一部分可拆卸地安装在所述框架组件上。

6.根据权利要求2所述的系统，其特征在于，所述电动机的至少另一部分固定地连接在所述轨道上。

7.根据权利要求2所述的系统，其特征在于，所述电动机是线性电动机。

8.根据权利要求2所述的系统，其特征在于，所述电动机是无电刷的电动机。

9.根据权利要求2所述的系统，其特征在于，所述电动机是没有运动部件的固态电动机。

10.根据权利要求2所述的系统，其特征在于，安装在所述容器上的所述电动机的至少一部分包括安装在所述容器上的永久磁铁。

11.根据权利要求2所述的系统，其特征在于，安装在所述容器中的所述电动机的至少一部分包括至少两个永久磁铁，所述永久磁铁设置在所述容器上，使得连接所述两个磁铁中一个磁铁的磁极的轴线相对于连接所述两个磁铁中另一磁铁的磁极的另一轴线定向成一定的角度。

12.根据权利要求2所述的系统，其特征在于，所述电动机适于沿着所述第二轨道来驱动所述容器。

13.根据权利要求2所述的系统，其特征在于，所述电动机适于驱动所述容器，使得所述容器能够沿着两条不同的轴线而移动。

14.根据权利要求13所述的系统，其特征在于，所述两条不同的轴线是相交轴线。

15.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，所述第二轨道具有纵向部分，其带有从所述纵向部分横向延伸出的至少一个分路部分。

16.根据权利要求15所述的系统，其特征在于，所述至少一个分路部分提供了轨道缓冲。

17.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，所述第一传输分段的至少一部分设置在所述至少一个处理工具与所述第二传输分段之间。

18.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，所述第二传输分段的第二轨道的至少一部分基本上与所述第一传输分段的第一轨道的一部分并行地延伸。

19.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，所述第二传输分段的第二轨道的至少一部分跨在所述第一传输分段的第一轨道的至少两个部分之间。

20.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，所述第一轨道和所述第二轨道设置成彼此邻近，以允许所述容器在它们之间一体地移动。