[发明专利]微电子中的铜电镀有效
申请号: | 200480041898.1 | 申请日: | 2004-12-13 |
公开(公告)号: | CN1918327A | 公开(公告)日: | 2007-02-21 |
发明(设计)人: | 文森特·派纳卡西奥;林宣;保罗·费古拉;理查德·赫图拜斯 | 申请(专利权)人: | 恩索恩公司 |
主分类号: | C25D3/38 | 分类号: | C25D3/38 |
代理公司: | 北京金之桥知识产权代理有限公司 | 代理人: | 梁朝玉 |
地址: | 美国康*** | 国省代码: | 美国;US |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 微电子 中的 电镀 | ||
【权利要求书】:
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