[发明专利]对涂敷到基板上的结构进行自动涂敷和监控的方法及其设备无效
申请号: | 200480041940.X | 申请日: | 2004-07-16 |
公开(公告)号: | CN1917963A | 公开(公告)日: | 2007-02-21 |
发明(设计)人: | A·托姆施科;M·勃格;J·林南科尔;R·拉布 | 申请(专利权)人: | 奎斯有限公司 |
主分类号: | B05C5/02 | 分类号: | B05C5/02 |
代理公司: | 北京中原华和知识产权代理有限责任公司 | 代理人: | 寿宁 |
地址: | 德国普*** | 国省代码: | 德国;DE |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 涂敷到基板上 结构 进行 自动 监控 方法 及其 设备 | ||
【说明书】:
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