[发明专利]减少碳化硅外延中的胡萝卜缺陷有效
| 申请号： | 200480042246.X | 申请日： | 2004-11-18 |
| 公开（公告）号： | CN1926266A | 公开（公告）日： | 2007-03-07 |
| 发明（设计）人： | M·J·奥洛克林;J·J·苏马克里斯 | 申请（专利权）人： | 克里公司 |
| 主分类号： | C30B29/36 | 分类号： | C30B29/36;C30B25/02;H01L21/302 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 刘红;梁永 |
| 地址： | 美国北卡*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 减少 碳化硅 外延 中的 胡萝卜 缺陷 | ||
【权利要求书】：
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