[发明专利]具有法布里－珀罗滤波器的基底和将滤波器涂覆在基底上的方法无效
| 申请号： | 200480042867.8 | 申请日： | 2004-03-01 |
| 公开（公告）号： | CN1942744A | 公开（公告）日： | 2007-04-04 |
| 发明（设计）人： | G·霍夫曼;R·路德维希;H·－G·罗茨;G·施泰尼格尔 | 申请（专利权）人： | 应用材料股份有限两合公司 |
| 主分类号： | G01J3/26 | 分类号： | G01J3/26;G02B26/00;C23C14/00 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 曹若;胡强 |
| 地址： | 德国阿*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 有法 滤波器 基底 方法 | ||
【权利要求书】：
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