[发明专利]具有高深宽比的光栅结构的制造方法无效
| 申请号： | 200480043098.3 | 申请日： | 2004-05-21 |
| 公开（公告）号： | CN1985195A | 公开（公告）日： | 2007-06-20 |
| 发明（设计）人： | 赛里奥·多尼达;罗马诺·莫森;斯蒂芬诺·萨多 | 申请（专利权）人： | 皮雷利&C.有限公司 |
| 主分类号： | G02B5/18 | 分类号： | G02B5/18;G02B6/12;G02B6/34;G02B6/02 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 王永刚 |
| 地址： | 意大*** | 国省代码： | 意大利;IT |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 具有 高深 光栅 结构 制造 方法 | ||
【权利要求书】：
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