[发明专利]基板的处理装置、输送装置及处理方法

权利要求书

1.一种基板的输送装置，将基板以规定的角度倾斜来输送，其 特征在于，

具备：

支撑上述基板的下端、并且通过被旋转驱动而将上述基板在规定 方向上输送的驱动辊；

多个承接辊，沿着上述基板的输送方向可旋转地设置，支撑以规 定的角度倾斜的上述基板的板面的上下方向的多个部位；

上述多个承接辊中对上述基板的高度方向的中间部分进行支撑 的承接辊被配置在比以上述规定的倾斜角度支撑上述基板的位置更 靠倾斜方向后方退避的位置上，以便将上述基板向倾斜方向凸出地弯 曲来进行支撑。

2.一种基板的输送方法，用多个承接辊支撑基板来输送其特征 在于，

在将基板倾斜规定的倾斜角度来输送时，该基板被上述承接辊支 撑为以比上述规定的倾斜角度更大的角度向倾斜方向凸出地弯曲来 输送。