[发明专利]阻气型透明塑料基板、其制造方法和使用其的柔性显示元件

权利要求书

1.一种阻气透明塑料基板，其包括塑料膜基材和在该塑料膜基材的 至少一个表面上形成的阻气层，所述阻气层具有氧化锡型无定形透明氧化 膜，其中，所述氧化锡型无定形透明氧化物膜包括含有至少一种添加元素 的氧化锡，所述元素选自硅、锗、铝、铈和铟组成的组，且所述添加元素 的比例为添加元素和锡的总量的0.2-45原子％，以及所述阻气层表面的中 心线平均表面粗糙度Ra为1.5nm以下。

2.根据权利要求1所述的阻气透明塑料基板，所述阻气层进一步具 有形成于氧化锡型无定形透明氧化膜上的氧化硅膜或氮氧化硅膜。

3.根据权利要求1或2所述的阻气透明塑料基板，其中通过Mocon 方法且根据JIS标准方法K7129-1992测定的水蒸气透过率小于0.01g/m²/ 天。

4.一种阻气透明导电塑料基板，其包括根据权利要求1或2所述的 阻气透明塑料基板，以及在阻气透明塑料基板上形成的透明电极膜，所述 透明电极膜的表面电阻为200欧姆/平方以下。

5.根据权利要求4所述的阻气透明导电塑料基板，其中透明电极膜 表面上的中心线平均表面粗糙度Ra为1.8nm以下。

6.根据权利要求4所述的阻气透明导电塑料基板，其中所述透明电 极膜包括作为主要组分的氧化铟和至少一种选自锡、钨、锌、硅、和锗组 成的组中的元素，且所述透明电极膜为无定形结构。

7.一种柔性显示元件，其包括权利要求1或2所述的阻气透明塑料 基板。

8.一种柔性显示元件，其包括权利要求1或2所述的阻气透明塑料 基板，和在所述阻气透明塑料基板上形成的有机电致发光显示元件，所述 有机电致发光显示元件包括阳极、阴极、处于阳极和阴极之间的有机层， 其中有机层含有有机发光层，其通过使阳极提供的电子空穴与阴极提供的 电子再结合而发光。

9.一种制造权利要求1或2所述的阻气透明塑料基板的方法，当制 造氧化锡型无定形透明氧化物膜时，使用氧化锡型烧结体作为原料，以及 在含有2-5％氧气的氩气中使用直流脉冲法的溅射方法，其中所述氧化锡 型烧结体包括含有至少一种添加元素的氧化锡，所述元素选自由硅、锗、 铝、铈和铟组成的组，且所述氧化锡型烧结体含有添加元素，所述添加元 素的比例为添加元素和锡的总量的0.2-45原子％。

10.一种溅射靶，其包括含有包括至少一种添加元素的氧化锡的氧化 锡型烧结体，所述元素选自由硅、锗、铝、铈和铟组成的组，且所述添加 元素的比例为添加元素和锡总量的0.2-45原子％。