[发明专利]使用电能和化石燃料的气体净化方法及其气体净化器

权利要求书

1.一种用于净化半导体制造工艺中所排放的气体的方法，其特征在于，电能和化石能都被利用，并且根据气体所含成分和净化环境来调整电能和化石能的利用率。

2.一种用于净化气体的方法，该方法包括燃烧在半导体制造工艺中排放的气体的阶段，

其中，所述燃烧阶段包括：

利用电加热器将燃烧室的温度升高到高于预定温度；

当检测到燃烧室的温度高于该预定温度时，注入燃烧空气和点火燃料以产生点火火焰；以及

当检测到点火火焰时，注入主燃料和气体以产生主火焰并使气体燃烧。

3.一种设有燃烧室的气体净化器，所述燃烧室包括：

限定一燃烧腔的内部壳体；

至少一个用于将废气引入燃烧腔的气体入口；

用于将空气引入燃烧腔的空气入口；以及

设置在燃烧腔的外周上并通过供电线路连接到电源的电加热器，

其中，所述燃烧腔包括：

用于在燃烧腔的内部温度升高到超过预定温度时将点火燃料引入燃烧室的点火燃料口；

用于由注入点火燃料所产生的火焰的点火传感器；以及

用于在点火传感器检测到点火火焰时供应大量燃料的主燃料口。

4.根据权利要求3所述的气体净化器，其特征在于，还包括设置在电加热器的外周上的绝热部件。

5.根据权利要求4所述的气体净化器，其特征在于，在燃烧室的外侧设有一外部壳体，

在外部壳体和内部壳体之间设有一用于将二者之间的空间分隔开的中间壳体，

所述电加热器设置在中间壳体和内部壳体之间，以及

所述绝热部件设置在外部壳体和中间壳体之间。

6.根据权利要求3所述的气体净化器，其特征在于，在燃烧腔中设有一用于检测由供应的主燃料所产生的火焰的主火焰传感器。

7.根据权利要求3所述的气体净化器，其特征在于，所述主燃料口连接到气体入口，使得废气在被引入燃烧腔之前与燃料混合。

8.根据权利要求3所述的气体净化器，其特征在于，所述内部壳体在内表面上可拆卸地设有一镍制的防腐套筒。

9.根据权利要求8所述的气体净化器，其特征在于，所述防腐套筒具有至少一个形成在套筒上部的湍流形成翼，该湍流形成翼通过局部地切断防腐套筒并以预定角度弯曲切断部而形成，以便由于形成的湍流而加速引入的废气和燃料之间的混合。

10.根据权利要求3所述的气体净化器，其特征在于，所述燃烧室在上部设有一热交换套，从而燃烧室的内部热量受到阻挡而不能传递到传感器的上部，其中，穿过该热交换套的空气被输送到空气入口。

11.根据权利要求10所述的气体净化器，其特征在于，还包括一设置在燃烧室上端和热交换套之间的密封垫片。

12.根据权利要求3至11中的任一项所述的气体净化器，其特征在于，至少两个净化器安装在一外罩中。