[发明专利]用于减少非随机噪声效应的测量系统和方法无效
| 申请号： | 200510003486.5 | 申请日： | 2005-10-08 |
| 公开（公告）号： | CN1837745A | 公开（公告）日： | 2006-09-27 |
| 发明（设计）人： | B·森德;A·丹;O·梅纳德瓦;S·莱汀斯基;R·达瑞 | 申请（专利权）人： | 应用材料以色列公司 |
| 主分类号： | G01B11/02 | 分类号： | G01B11/02;G01R31/28;H01L21/66 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 | 代理人： | 李玲 |
| 地址： | 以色列瑞*** | 国省代码： | 以色列;IL |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 用于 减少 随机 噪声 效应 测量 系统 方法 | ||
【权利要求书】：
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