[发明专利]探针显微镜的操作方法无效
申请号: | 200510005718.0 | 申请日: | 2005-01-13 |
公开(公告)号: | CN1727871A | 公开(公告)日: | 2006-02-01 |
发明(设计)人: | E·克尼德勒;R·林德;L·瓦西利埃夫;A·伯格豪斯;C·E·布赖森三世 | 申请(专利权)人: | FEI公司 |
主分类号: | G01N13/10 | 分类号: | G01N13/10;G12B21/02 |
代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人: | 张雪梅;梁永 |
地址: | 美国俄*** | 国省代码: | 美国;US |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 探针 显微镜 操作方法 | ||
【权利要求书】:
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