[发明专利]运用激光激化气体的清洗方法及装置无效
| 申请号： | 200510006256.4 | 申请日： | 2005-02-01 |
| 公开（公告）号： | CN1814361A | 公开（公告）日： | 2006-08-09 |
| 发明（设计）人： | 杨胜仲;黄俊诚;陈进和 | 申请（专利权）人： | 财团法人金属工业研究发展中心 |
| 主分类号： | B08B7/00 | 分类号： | B08B7/00 |
| 代理公司： | 隆天国际知识产权代理有限公司 | 代理人： | 王玉双;潘培坤 |
| 地址： | 台湾省*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 运用 激光 激化 气体 清洗 方法 装置 | ||
【权利要求书】：
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