[发明专利]真空蒸镀机有效
| 申请号： | 200510006399.5 | 申请日： | 2005-01-28 |
| 公开（公告）号： | CN1648279A | 公开（公告）日： | 2005-08-03 |
| 发明（设计）人： | 神川进;森崎裕彦;和田宏三;平井悦郎;小林敏郎;加藤光雄;平野龙也 | 申请（专利权）人： | 三菱日立制铁机械株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/54;C23C14/56 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 汪惠民 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 真空 蒸镀机 | ||
【权利要求书】：
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