[发明专利]图形曝光方法以及图形曝光装置无效
| 申请号： | 200510008894.X | 申请日： | 2005-02-24 |
| 公开（公告）号： | CN1677237A | 公开（公告）日： | 2005-10-05 |
| 发明（设计）人： | 押田良忠;内藤芳达;铃木光弘;内山文二;山口刚 | 申请（专利权）人： | 日立比亚机械股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G02B26/10 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 | 代理人： | 张敬强 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 图形 曝光 方法 以及 装置 | ||
【说明书】：
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于日立比亚机械股份有限公司，未经日立比亚机械股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/200510008894.X/2.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
