[发明专利]双光栅位移传感器计数方式的位置检测装置及其检测方法无效
申请号: | 200510010288.1 | 申请日: | 2005-08-26 |
公开(公告)号: | CN1731083A | 公开(公告)日: | 2006-02-08 |
发明(设计)人: | 孙立宁;刘延杰;节德刚;荣伟彬;曲东升 | 申请(专利权)人: | 哈尔滨工业大学 |
主分类号: | G01B21/02 | 分类号: | G01B21/02;G01B11/02 |
代理公司: | 哈尔滨市松花江专利商标事务所 | 代理人: | 王吉东 |
地址: | 150001黑龙江*** | 国省代码: | 黑龙江;23 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 光栅 位移 传感器 计数 方式 位置 检测 装置 及其 方法 | ||
【权利要求书】:
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