[发明专利]高数值孔径光刻成像偏振控制装置无效
| 申请号： | 200510011240.2 | 申请日： | 2005-01-24 |
| 公开（公告）号： | CN1645258A | 公开（公告）日： | 2005-07-27 |
| 发明（设计）人： | 余国彬;姚汉民;邢廷文;胡松;唐小萍 | 申请（专利权）人： | 中国科学院光电技术研究所 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G02B27/28 |
| 代理公司： | 北京科迪生专利代理有限责任公司 | 代理人： | 刘秀娟;成金玉 |
| 地址： | 610209*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 数值孔径 光刻 成像 偏振 控制 装置 | ||
【权利要求书】：
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