[发明专利]平面式气体传感器衬底上敏感材料的涂覆方法无效
| 申请号： | 200510011464.3 | 申请日： | 2005-03-23 |
| 公开（公告）号： | CN1657185A | 公开（公告）日： | 2005-08-24 |
| 发明（设计）人： | 孔祥霞;董汉鹏;张威 | 申请（专利权）人： | 北京青鸟元芯微系统科技有限责任公司 |
| 主分类号： | B05D5/00 | 分类号： | B05D5/00;B05D7/24 |
| 代理公司： | 北京君尚知识产权代理事务所 | 代理人： | 陈美章 |
| 地址： | 100871北京市海淀*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 平面 气体 传感器 衬底 敏感 材料 方法 | ||
【说明书】：
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