[发明专利]一种用于制造微型泵的压电陶瓷片和微型气泵有效
申请号: | 200510012575.6 | 申请日: | 2005-06-04 |
公开(公告)号: | CN1793647A | 公开(公告)日: | 2006-06-28 |
发明(设计)人: | 胡军 | 申请(专利权)人: | 胡军 |
主分类号: | F04B45/047 | 分类号: | F04B45/047;H01L41/04 |
代理公司: | 深圳市智科友专利商标事务所 | 代理人: | 曲家彬 |
地址: | 518172广东省深圳市龙岗*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 用于 制造 微型 压电 陶瓷 气泵 | ||
【权利要求书】:
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