[发明专利]微机电圆片级器件电磁驱动加载器无效
| 申请号： | 200510012622.7 | 申请日： | 2005-06-23 |
| 公开（公告）号： | CN1718533A | 公开（公告）日： | 2006-01-11 |
| 发明（设计）人： | 张文栋;刘俊;熊继军;薛晨阳;张斌珍 | 申请（专利权）人： | 中北大学 |
| 主分类号： | B81C5/00 | 分类号： | B81C5/00 |
| 代理公司： | 山西太原科卫专利事务所 | 代理人： | 朱源 |
| 地址： | 03005*** | 国省代码： | 山西;14 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 微机 电圆片级 器件 电磁 驱动 加载 | ||
【说明书】：
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