[发明专利]一种抛光大面积金刚石膜的方法和装置有效
申请号: | 200510019473.7 | 申请日: | 2005-09-22 |
公开(公告)号: | CN1779001A | 公开(公告)日: | 2006-05-31 |
发明(设计)人: | 马志斌;汪建华;何艾华;万军;王传新;毛家龙 | 申请(专利权)人: | 武汉化工学院 |
主分类号: | C30B33/12 | 分类号: | C30B33/12;H05H1/30 |
代理公司: | 湖北武汉永嘉专利代理有限公司 | 代理人: | 王守仁 |
地址: | 430073湖北*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 抛光 大面积 金刚石 方法 装置 | ||
【权利要求书】:
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