[发明专利]太阳能电池纳米晶硅薄膜的物理气相沉积装置及其方法无效
| 申请号： | 200510019798.5 | 申请日： | 2005-11-14 |
| 公开（公告）号： | CN1760405A | 公开（公告）日： | 2006-04-19 |
| 发明（设计）人： | 吴大维;吴越侠;徐建平 | 申请（专利权）人： | 吴大维 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/56 |
| 代理公司： | 武汉宇晨专利事务所 | 代理人： | 黄瑞棠 |
| 地址： | 430071湖北省武*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 太阳能电池 纳米 薄膜 物理 沉积 装置 及其 方法 | ||
【说明书】：
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