[发明专利]金属氧化物薄膜的制备方法无效
| 申请号： | 200510021674.0 | 申请日： | 2005-09-15 |
| 公开（公告）号： | CN1740377A | 公开（公告）日： | 2006-03-01 |
| 发明（设计）人： | 李言荣;陶伯万;陈寅;刘兴钊;朱俊;吴传贵;吴健 | 申请（专利权）人： | 电子科技大学 |
| 主分类号： | C23C14/08 | 分类号： | C23C14/08;C23C14/16;C23C14/34;C23C14/28;C23C14/58 |
| 代理公司： | 成都虹桥专利事务所 | 代理人： | 刘勋 |
| 地址： | 610054四*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 金属 氧化物 薄膜 制备 方法 | ||
【说明书】：
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