[发明专利]步进扫描投影光刻机同步总线控制器及同步控制系统有效
| 申请号： | 200510023858.0 | 申请日： | 2005-02-05 |
| 公开（公告）号： | CN1648889A | 公开（公告）日： | 2005-08-03 |
| 发明（设计）人： | 刘世元;陈勇辉;池蜂;周畅;韦学志 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G06F13/42 | 分类号： | G06F13/42;G03F7/20;H04L12/00 |
| 代理公司： | 上海新天专利代理有限公司 | 代理人： | 王敏杰 |
| 地址： | 201203上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 步进 扫描 投影 光刻 同步 总线 控制器 控制系统 | ||
【权利要求书】：
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