[发明专利]步进扫描投影光刻机中的杂散光原位检测方法有效
| 申请号： | 200510024229.X | 申请日： | 2005-03-07 |
| 公开（公告）号： | CN1655064A | 公开（公告）日： | 2005-08-17 |
| 发明（设计）人： | 郭立萍;王向朝 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G01M11/00 |
| 代理公司： | 上海新天专利代理有限公司 | 代理人： | 王敏杰 |
| 地址： | 201203上*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 步进 扫描 投影 光刻 中的 散光 原位 检测 方法 | ||
【说明书】：
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海微电子装备有限公司，未经上海微电子装备有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/200510024229.X/2.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
