[发明专利]用于投影光刻机的调焦调平传感器有效
| 申请号： | 200510025793.3 | 申请日： | 2005-05-13 |
| 公开（公告）号： | CN1700101A | 公开（公告）日： | 2005-11-23 |
| 发明（设计）人： | 胡建明;王向朝;曾爱军 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/207 | 分类号： | G03F7/207 |
| 代理公司： | 上海新天专利代理有限公司 | 代理人： | 王敏杰 |
| 地址： | 201203上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 用于 投影 光刻 调焦 传感器 | ||
【权利要求书】：
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