[发明专利]一种测量焦平面探测器低温形变的方法及专用杜瓦无效
申请号: | 200510025916.3 | 申请日: | 2005-05-18 |
公开(公告)号: | CN1693844A | 公开(公告)日: | 2005-11-09 |
发明(设计)人: | 张勤耀;廖清君;许妙根 | 申请(专利权)人: | 中国科学院上海技术物理研究所 |
主分类号: | G01B11/16 | 分类号: | G01B11/16;G01N25/00;G01N25/16 |
代理公司: | 上海智信专利代理有限公司 | 代理人: | 郭英 |
地址: | 20008*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 测量 平面 探测器 低温 形变 方法 专用 | ||
【权利要求书】:
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