[发明专利]一种用于阶梯覆盖检查的透射电子显微镜样品制备方法有效
| 申请号： | 200510025977.X | 申请日： | 2005-05-19 |
| 公开（公告）号： | CN1865898A | 公开（公告）日： | 2006-11-22 |
| 发明（设计）人： | 牛崇实;高强;张启华;吴廷斌 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 |
| 主分类号： | G01N1/06 | 分类号： | G01N1/06;G01N1/28;G01N13/00 |
| 代理公司： | 上海新高专利商标代理有限公司 | 代理人： | 楼仙英 |
| 地址： | 201203*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 用于 阶梯 覆盖 检查 透射 电子显微镜 样品 制备 方法 | ||
【说明书】：
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