[发明专利]基于微机电系统的巨磁阻抗效应磁敏器件无效

专利信息
申请号: 200510026606.3 申请日: 2005-06-09
公开(公告)号: CN1688035A 公开(公告)日: 2005-10-26
发明(设计)人: 周勇;丁文;曹莹;陈吉安;周志敏 申请(专利权)人: 上海交通大学
主分类号: H01L43/08 分类号: H01L43/08;G01R33/09;G11B5/39;B81B7/02
代理公司: 上海交达专利事务所 代理人: 王锡麟;王桂忠
地址: 200240*** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 基于 微机 系统 磁阻 效应 器件
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