[发明专利]室温法布里－珀罗红外探测器阵列及其制作方法有效
| 申请号： | 200510026743.7 | 申请日： | 2005-06-15 |
| 公开（公告）号： | CN1699939A | 公开（公告）日： | 2005-11-23 |
| 发明（设计）人： | 冯飞;王跃林;杨广立;熊斌;焦继伟 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 |
| 主分类号： | G01J5/20 | 分类号： | G01J5/20;H01L31/09 |
| 代理公司： | 上海智信专利代理有限公司 | 代理人： | 潘振甦 |
| 地址： | 200050*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 室温 法布里 红外探测器 阵列 及其 制作方法 | ||
【说明书】：
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