[发明专利]单晶硅片表面制备巯基硅烷－稀土自润滑复合薄膜的方法无效
| 申请号： | 200510027350.8 | 申请日： | 2005-06-30 |
| 公开（公告）号： | CN1730377A | 公开（公告）日： | 2006-02-08 |
| 发明（设计）人： | 程先华;白涛 | 申请（专利权）人： | 上海交通大学 |
| 主分类号： | B81C1/00 | 分类号： | B81C1/00;C10M105/76;C10N50/08 |
| 代理公司： | 上海交达专利事务所 | 代理人： | 毛翠莹 |
| 地址： | 200240*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 单晶硅 表面 制备 巯基 硅烷 稀土 润滑 复合 薄膜 方法 | ||
【权利要求书】：
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