[发明专利]一种由硅和二氧化硅共同支撑的可移动微结构及制作方法无效
| 申请号： | 200510028753.4 | 申请日： | 2005-08-12 |
| 公开（公告）号： | CN1736850A | 公开（公告）日： | 2006-02-22 |
| 发明（设计）人： | 龙文华;杨建义;李广波;贾科淼;王跃林 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 |
| 主分类号： | B81B5/00 | 分类号： | B81B5/00;B81C1/00;G02B26/00;G02B26/06 |
| 代理公司： | 上海智信专利代理有限公司 | 代理人： | 潘振甦 |
| 地址： | 200050*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 二氧化硅 共同 支撑 移动 微结构 制作方法 | ||
【说明书】：
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