[发明专利]使用高阶离轴对准信号确定对准位置的方法有效
| 申请号： | 200510030577.8 | 申请日： | 2005-10-14 |
| 公开（公告）号： | CN1779572A | 公开（公告）日： | 2006-05-31 |
| 发明（设计）人： | 孔正国 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;H01L21/027 |
| 代理公司： | 上海智信专利代理有限公司 | 代理人： | 王洁 |
| 地址： | 201203上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 使用 高阶离轴 对准 信号 确定 位置 方法 | ||
【说明书】：
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