[发明专利]用于阻挡层的化学机械抛光浆料有效
| 申请号： | 200510030871.9 | 申请日： | 2005-10-28 |
| 公开（公告）号： | CN1955212A | 公开（公告）日： | 2007-05-02 |
| 发明（设计）人： | 宋伟红;荆建芬;顾元;徐春;宋鹰 | 申请（专利权）人： | 安集微电子（上海）有限公司 |
| 主分类号： | C08J5/14 | 分类号： | C08J5/14;H01L21/304 |
| 代理公司： | 上海虹桥正瀚律师事务所 | 代理人： | 李佳铭 |
| 地址： | 201203上海市浦东新区张江高*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 用于 阻挡 化学 机械抛光 浆料 | ||
【权利要求书】：
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