[发明专利]一维纳米材料器件制造方法有效
申请号: | 200510033908.3 | 申请日: | 2005-03-30 |
公开(公告)号: | CN1840465A | 公开(公告)日: | 2006-10-04 |
发明(设计)人: | 魏洋;范守善 | 申请(专利权)人: | 清华大学;鸿富锦精密工业(深圳)有限公司 |
主分类号: | B82B3/00 | 分类号: | B82B3/00;H01L21/77;G12B21/00;G12B21/02;G01B5/28 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 100084*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 纳米 材料 器件 制造 方法 | ||
【权利要求书】:
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