[发明专利]大面积微压印专用超平整度软模具的制作方法无效
| 申请号： | 200510043071.0 | 申请日： | 2005-08-08 |
| 公开（公告）号： | CN1731281A | 公开（公告）日： | 2006-02-08 |
| 发明（设计）人： | 丁玉成;刘红忠;李寒松;段玉岗;刘志刚;卢秉恒 | 申请（专利权）人： | 西安交通大学 |
| 主分类号： | G03F7/00 | 分类号： | G03F7/00;G03F7/16;G03F9/00 |
| 代理公司： | 西安通大专利代理有限责任公司 | 代理人： | 李郑建 |
| 地址： | 710049*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 大面积 压印 专用 平整 模具 制作方法 | ||
【说明书】：
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