[发明专利]射频磁控溅射法制备ZnO∶Zr透明导电薄膜的方法无效
| 申请号： | 200510043960.7 | 申请日： | 2005-06-29 |
| 公开（公告）号： | CN1718841A | 公开（公告）日： | 2006-01-11 |
| 发明（设计）人： | 韩圣浩;吕茂水;叶丽娜;庞智勇;修显武 | 申请（专利权）人： | 山东大学 |
| 主分类号： | C23C14/08 | 分类号： | C23C14/08;C23C14/35 |
| 代理公司： | 济南金迪知识产权代理有限公司 | 代理人： | 李宝成 |
| 地址： | 250100山东*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 射频 磁控溅射 法制 zno zr 透明 导电 薄膜 方法 | ||
【说明书】：
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