[发明专利]一种用离子束加工双铜环夹持的透射样品制备方法无效
申请号: | 200510047086.4 | 申请日: | 2005-08-24 |
公开(公告)号: | CN1920519A | 公开(公告)日: | 2007-02-28 |
发明(设计)人: | 谭军;张磊;温井龙;谢天生 | 申请(专利权)人: | 中国科学院金属研究所 |
主分类号: | G01N1/28 | 分类号: | G01N1/28;H01L21/00 |
代理公司: | 沈阳科苑专利商标代理有限公司 | 代理人: | 张志伟 |
地址: | 110016辽*** | 国省代码: | 辽宁;21 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 离子束 加工 铜环 夹持 透射 样品 制备 方法 | ||
【权利要求书】:
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