[发明专利]负型感光间隙控制材料的组成及其形成方法有效
| 申请号： | 200510048836.X | 申请日： | 2005-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN1991582A | 公开（公告）日： | 2007-07-04 |
| 发明（设计）人： | 张德宜;吴明宗;张孟浩;陈铀征;吴筱薇 | 申请（专利权）人： | 财团法人工业技术研究院 |
| 主分类号： | G03F7/027 | 分类号： | G03F7/027;G03F7/033;G03F7/004 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 封新琴;巫肖南 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 感光 间隙 控制 材料 组成 及其 形成 方法 | ||
【说明书】：
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